专利名称：等离子体测量装置和等离子体测量设备专利类型：实用新型专利
发明人：肖珂,郑志远,高禄,张思齐,梁田,汤伟冲申请号：CN201720055196.3申请日：20170117公开号：CN206609893U公开日：20171103
摘要：本实用新型提供一种等离子体测量装置和等离子体测量设备。等离子体测量装置，包括支撑板、激光发射器、摆块、光源、信号采集器和示波器；支撑板的两面分别连接烧蚀薄膜和激光发射器，摆块设置在支撑板的一面，激光束投射在支撑板上，使烧蚀薄膜产生等离子体驱动摆块摆动；光源的光路穿过摆块照射在信号采集器上传输至示波器。解决了现有技术中，采用烧蚀靶的悬吊法不能测量薄膜烧蚀产生的动量的技术问题，将薄膜连接支撑板上，准确测量产生的等离子体动量。本实用新型还提供一种薄膜动量测量设备，包括安装架，安装架内连接等离子体测量装置。解决了测量薄膜动量时，薄膜不能固定的技术问题，该设备连接牢固，能够准确测量薄膜等离子体的动量。
申请人：中国地质大学(北京)
地址：100083 北京市海淀区学院路29号
国籍：CN
代理机构：北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：龙礼妹
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