（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201110052773.0 （22）申请日 2011.03.04
（71）申请人 中国科学院金属研究所
地址 110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
（10）申请公布号 CN102653415A
（43）申请公布日 2012.09.05
（72）发明人 刘志权;尚振岗;尚攀举
（74）专利代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 张志伟
（51）Int.CI
C01G23/047; C30B29/16;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
二氧化钛纳米材料的固相制备方法
（57）摘要
本发明涉及一种制备二氧化钛单晶纳米材
料(纳米线、单晶纳米片和多晶薄膜)的方法，属于纳米材料制备和半导体器件应用技术领域。传统的湿化学方法因反应组元较多，易引入杂质元素，制备过程复杂，可控性差，且存在前驱物和附属产物的污染问题。本发明方法以钛基板为原材料，在表面负载金属催化剂，在惰性气体气氛
中升温加热，通过调整加热温度，可控地制备出不同形貌尺寸的二氧化钛纳米线、纳米片以及薄膜材料。特点是利用固相生长的方法，制备过程简单、可控性强、产量大、无污染，为二氧化钛纳米材料的制备和微型器件的集成提供了一种切实可行的方案。
法律状态
法律状态公告日2012-09-05 2012-10-31 2014-04-09
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
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权利要求说明书
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说明书
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