专利名称：一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装
置
专利类型：实用新型专利
发明人：傅林坚,沈文杰,严浩,周锡峰,宛沪生,王凯,何守龙,邱
敏秀
申请号：CN201621301555.0申请日：20161130公开号：CN206277227U公开日：20170627
摘要：本实用新型涉及单晶硅棒滚磨，旨在提供一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置。该种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置包括水平移动组件、竖直移动组件；水平移动组件用于实现竖直移动组件的水平前后移动，竖直移动组件包括竖直导轨座、电机座组件、机械手爪，用于确保单晶硅棒与机床工作时的运动线路同轴。本实用新型具有对中精度高、设备结构紧凑、维护方便，生产成本低等优点，能够实现与六自由度机械手完美的衔接。
申请人：浙江晶盛机电股份有限公司
地址：312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
国籍：CN
代理机构：杭州中成专利事务所有限公司
代理人：周世骏
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容