专利名称：一种薄膜晶体管的制作方法、原子层沉积装置和显
示面板
专利类型：发明专利发明人：夏玉明,卓恩宗申请号：CN201910564637.6申请日：20190627公开号：CN110444478A公开日：20191112
摘要：本申请公开了一种薄膜晶体管的制作方法、原子层沉积装置和显示面板。薄膜晶体管包括金属层，对金属层的加工步骤包括将金属层放置于原子层沉积装置的反应室内；在原子层沉积装置中持续通入预设时间的第一前驱体进行反应，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，重复进行第一预设次数；在原子层沉积装置中持续通入预设时间的第二前驱体进行反应，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，重复进行第二预设次数；在原子层沉积装置中持续通入预设时间的第三前驱体进行反应，完成通入后停留预设的时间，通入惰性气体吹扫，重复进行第三预设次数；将上述步骤重复进行第四预设次数。对金属层进行加工防止金属层氧化。
申请人：惠科股份有限公司,滁州惠科光电科技有限公司
地址：518000广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
国籍：CN
代理机构：深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)
代理人：邢涛
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