专利名称：一种碳化硅单晶炉专利类型：发明专利发明人：袁玉平,闫鹏,袁佳斌申请号：CN201610453000.6申请日：20160622公开号：CN107523871A公开日：20171229
摘要：本发明涉及一种碳化硅单晶炉，它包括坩埚，在所述坩埚上方设有坩埚盖，在所述坩埚底部设有旋转机构，在所述坩埚内设有物料室，在所述坩埚盖下端面设有籽晶，所述籽晶至少设置一个，在所述坩埚外部设有保温层，所述坩埚和坩埚盖都设在反应室内，在所述反应室外部设有感应线圈，所述感应线圈的分布高度占反应室高度的1/2‑7/10，所述坩埚的内径长度占反应室内径长度的3/5‑4/5，在所述反应室上设有压力控制装置和监测装置。本发明结构设置合理，控制精确，产品质量高。
申请人：江苏拜尔特光电设备有限公司
地址：214264 江苏省无锡市宜兴市芳桥街道工业集中区
国籍：CN
代理机构：宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙)
代理人：丁骞
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