专利名称：用于等离子体处理系统的感应线圈设备的方法和装
置
专利类型：发明专利
发明人：尼尔·马丁·保罗·本杰明申请号：CN201180019808.9申请日：20110419公开号：CN102845137A公开日：20121226
摘要：提供了一种用于在基板处理过程中在整个基板上提供等离子体均匀性的等离子体操作系统中的天线设备。该设备包括多个圆形天线组件。该多个圆形天线组件的每个圆形天线组件包括非圆形线圈组。该非圆形线圈组的每个非圆形线圈在方位角方向上偏转预定的角度。该设备还包括用于给所述多个圆形天线组件提供功率的功率发生器组。
申请人：朗姆研究公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海胜康律师事务所
代理人：李献忠
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