专利名称:半导体器件制造方法及晶片加工带专利类型:发明专利
发明人:盛岛泰正,喜多贤二,石渡伸一,山川贵纪申请号:CN200580026540.6申请日:20050802公开号:CN1993809A公开日:20070704
摘要:一种晶片加工带,包括形成于基底膜(1)上的可移除的粘合剂层(2)与粘接剂层(3)。在抛光工艺中,在所述带粘合到具有突起金属电极(4)的晶片电路基板的状态下,研磨晶片电路基板(5)的背面。在划片工艺中,将该晶片电路基板分为芯片。在拾取该分开的芯片中,其中在该粘接剂层(3)从基底膜(1)剥离而接合到芯片的状态下拾取所述芯片。
申请人:古河电气工业株式会社
地址:日本东京都
国籍:JP
代理机构:北京市柳沈律师事务所
代理人:陶凤波
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