专利名称:一种半导体器件用键合铜合金丝及其制造方法专利类型:发明专利发明人:周振基,周博轩,任智申请号:CN201410333092.5申请日:20140714公开号:CN104087780A公开日:20141008
摘要:一种半导体器件用键合铜合金丝,含有下述重量配比的成分:铜100份,钯0.5-1.5份,氢0.0005-0.002份。本发明还提供上述键合铜合金丝的一种制造方法,包括下述步骤:(1)将铜和钯熔合成铜钯合金熔体,再经过拉丝处理,获得铜钯合金线材;(2)对铜钯合金线材进行多道次拉拔,得到铜钯合金丝;在拉拔过程中及拉拔完成后进行退火处理,最后一次退火处理采用氮氢混合气作为退火气氛;(3)最后一次退火处理结束后,将铜钯合金丝通入乙醇水溶液中进行冷却,得到键合铜合金丝。本发明的键合铜合金丝具有较强的抗氧化能力,在N气氛下球焊时有较大的结合面积和较高的结合强度,导电能力强,可靠性高,且制造工艺简单易行。
申请人:汕头市骏码凯撒有限公司
地址:515065 广东省汕头市龙湖区万吉工业区万吉北街6号
国籍:CN
代理机构:汕头市潮睿专利事务有限公司
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