专利名称：一种气体制备系统专利类型：实用新型专利
发明人：徐钟奇,黎星宇,毕恩兵,陈汉申请号：CN201821613591.X申请日：20180930公开号：CN209093324U公开日：20190712
摘要：本申请提供了一种气体制备系统，包括：原料投放装置，其设置有储料容器和用于调节储料容器内材料投放量的出料控制机构。连接所述原料投放装置并用于提供气体制备反应空间的反应容器。用于将所述反应容器中产生的气体进行提纯的提纯装置，用于对经过所述提纯装置提纯后的气体进行杂质检测的杂质检测装置。用于将所述杂质检测装置检测到的不合格气体返回至所述提纯装置的回流支路。用于监测气体量参数的气体流量控制装置。中央控制器，其能建立所述气体流量控制装置与所述出料控制机构之间的反馈回路，调节所述储料容器内反应材料的投放量。本申请提供的气体制备系统能控制反应材料的用量，并能提供纯度在标准范围内的气体。
申请人：上海黎元新能源科技有限公司
地址：201400 上海市奉贤区奉浦大道1599号1栋2204
国籍：CN
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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